X 射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质，用于扫描电镜、电子探针和透射电镜等仪器设备中测量元素含量的 X 射线能谱仪/波谱仪的检定/校准。
一、 样品制备
本标准物质为成批制备，采用磁控溅射技术在硅片衬底上生长铝铜薄膜样品。
二、 溯源性及定值方法
本标准物质称量、消解、定容得到透明溶液后，采用电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES），联合多家实验室对样品中铜元素含量进行协作定值。使用量值具有溯源性保证的铜单元素溶液标准物质（GBW08615）、满足计量学特性要求的制备、测量方法和经检定/校准的天平等计量器具，使量值溯源至质量和物质的量的 SI 基本单位千克（kg）、摩尔（mol）以及体积的国家法定计量单位升（L）。
三、 特性量值及不确定度
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编号
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名称
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特性量
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标准值(%)
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不确定度(%)(k=2)
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NIM-RM2165
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X 射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质
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铜元素含量
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49.46
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0.98
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四、 均匀性及稳定性评估
参照 JJF1343 国家计量技术规范（等效 ISO 指南 35），采用方差分析法（F 检验法），按照随机抽样原则从 60 个样品中任意抽取 20 个进行均匀性评估，评估结果表明，样品均匀性良好；采用趋势分析检验方法（t 检验法）对样品进行一年稳定性评估，评估结果表明，样品稳定性良好。
本标准物质自定值日期起有效期 12 个月，研制单位将继续跟踪监测该标准物质的稳定性，有效期内如发现量值变化，将及时通知用户。
五、包装、贮存及使用
本标准物质为正方形小块，粘在钉形样品台上，样品台插在圆形带孔塑料瓶中，塑料瓶由透明塑料袋真空封装，每个塑料瓶中包含 1 个样品。本标准物质应贮存在阴凉、干燥、避光环境中。
开封使用本标准物质时，应保证取样工具洁净，避免沾污。建议使用圆弧形镊子夹取钉形样品台边缘，避免污染。本标准物质无毒性。