X 射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质,用于扫描电镜、电子探针和透射电镜等仪器设备中测量元素含量的 X 射线能谱仪/波谱仪的检定/校准。
一、 样品制备
本标准物质为成批制备,采用磁控溅射技术在硅片衬底上生长铝铜薄膜样品。
二、 溯源性及定值方法
本标准物质称量、消解、定容得到透明溶液后,采用电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES),联合多家实验室对样品中铜元素含量进行协作定值。使用量值具有溯源性保证的铜单元素溶液标准物质(GBW08615)、满足计量学特性要求的制备、测量方法和经检定/校准的天平等计量器具,使量值溯源至质量和物质的量的 SI 基本单位千克(kg)、摩尔(mol)以及体积的国家法定计量单位升(L)。
三、 特性量值及不确定度
编号
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名称
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特性量
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标准值(%)
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不确定度(%)(k=2)
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NIM-RM2163
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X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质
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铜元素含量
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2.56
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0.14
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四、 均匀性及稳定性评估
参照 JJF1343 国家计量技术规范(等效 ISO 指南 35),采用方差分析法(F 检验法),按照随机抽样原则从 60 个样品中任意抽取 20 个进行均匀性评估,评估结果表明,样品均匀性良好;采用趋势分析检验方法(t 检验法)对样品进行一年稳定性评估,评估结果表明,样品稳定性良好。
本标准物质自定值日期起有效期 12 个月,研制单位将继续跟踪监测该标准物质的稳定性,有效期内如发现量值变化,将及时通知用户。
五、包装、贮存及使用
本标准物质为正方形小块,粘在钉形样品台上,样品台插在圆形带孔塑料瓶中,塑料瓶由透明塑料袋真空封装,每个塑料瓶中包含 1 个样品。本标准物质应贮存在阴凉、干燥、避光环境中。
开封使用本标准物质时,应保证取样工具洁净,避免沾污。建议使用圆弧形镊子夹取钉形样品台边缘,避免污染。本标准物质无毒性。