透射电子显微镜污染率和漂移率校准用标准物质的特性量是圆孔直径，主要用于透射电子显微镜样品污染率和样品漂移率的校准、分析方法确认与评价。
一、 样品制备
使用电子束曝光制备硅圆孔阵列模版，然后在圆孔阵列模板上沉积碳膜，使碳膜漂浮在水上，再使用覆盖有方华膜的铜网捞起水上的碳膜，干燥后制得带有阵列圆孔的碳膜。
二、 溯源性及定值方法
由一家实验室采用扫描电子显微镜法对本标准物质进行定值。在放大倍率为 4 万倍时对圆孔碳膜进行成像，获得正焦图像；然后使用图像分析系统对显微图像进行处理和分析，最终确定圆孔碳膜直径的量值。采用溯源至国家长度基准的一维纳米栅格标准物质（GBW13956）对由扫描电镜和图像分析系统构成的测量系统的图像标尺进行校准，从而确保定值结果通过一维纳米栅格标准物质溯源到国家长度基准——激光波长，继而溯源至长度的 SI 基本单位：米（m）。
三、 特性量值及不确定度
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特性
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标准值（nm）
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扩展不确定度 U（k=2）（nm）
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圆孔直径
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764
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11
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不确定度评定中考虑了测量过程、测量设备（包括标准物质）、均匀性及稳定性等引入的不确定度分量。
四、 均匀性及稳定性评估
参照 JJF1343 国家计量技术规范（等效 ISO 指南 35），采用方差分析法（F 检验法），按照随机抽样原则从 100 个样品中任意抽取 25 个进行均匀性评估，评估结果表明，样品均匀性良好；采用趋势分析检验方法（t 检验法）对样品进行一年稳定性评估，评估结果表明，样品稳定性良好。
本标准物质自定值日期起有效期 12 个月，研制单位将继续跟踪监测该标准物质的稳定性，有效期内如发现量值变化，将及时通知用户。
五、 包装、贮存及使用
本标准物质为圆片，内包装为菱形孔样品盒，每盒 1 个样品，外包装为高弹膜塑料盒。应贮存在阴凉、干燥、避光环境中。
本标准物质开封后一次性使用，不能多次重复用于校准活动。开封使用本标准物质时，应保证取样工具洁净避免沾污。建议使用尖镊子夹取标准物质边缘，轻拿轻放，避免变形和污染。本标准物质无毒性。